当前位置：首页 > 产品中心
弹性发射加工(EEM)加工精度
弹性发射加工(EEM)加工精度
弹性发射加工百度百科
弹性发射加工(elastic emission machining,EEM)采用浸液工作方式，利用在工件表面高速旋转的聚氨酯小球带动抛光液中粒度为几十纳米的磨料，以尽可能小的人射角冲击工件表 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特 性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹性发射加 李佳慧,侯溪,张云,王佳,钟显云 弹性发射光学制造技术研究
弹性发射光学制造技术研究进展加工
弹性发射加工技术是从原子量级上提升光学元件表面中高频粗糙度的有效手段，可以实现超高精度平面和复杂曲面的制造，能够满足未来先进光源和极紫外光刻等现代光学工程对超 弹性发射加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。弹性发射光学制造技术研究进展
数控弹性发射加工 百度学术
1加工原理如图1所示,所谓弹性发射加工(简称EEM)是将聚氨基甲酸乙脂回转球与工件一起置于悬浊液(含微细粉末粒子)中,利用回转球与工件表面之间产生的流体润滑现象,去除工件 我们一直在开发使用弹性发射加工（EEM）的图形校正系统。 在这项研究中，开发了一种EEM喷嘴头，该喷嘴具有一个直径小于60 µm的微小孔。 通过微电火花加工（EDM）制 弹性发射加工中的100 µm尺寸固定点加工,International Journal
弹性发射光学制造技术研究进展 百度文库
弹性发射 加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件 的手段。本文总结了弹性发射加工技术的国内外 深紫外光刻,极紫外光刻和先进光源等现代光学工程需求牵引先进光学制造技术持续发展,要求超光滑光学元件表面粗糙度达到原子级水平以及表面全频段面形误差达到RMS(Root 弹性发射光学制造技术研究进展 百度学术
弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究 百度学术
随着科学技术的发展,具有超光滑表面质量的光学元件已广泛应用于高精密产品和现代化国防等重要领域,超光滑表面加工技术是当今制造业的研究热点,直接影响机械产品的精度和表 弹性发射加工技术是一种去除函数稳定,超低亚表面缺陷,面向原子级的超光滑加工方法,可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。ScienceChina 中国科学文献服务系统
先进制造技术超精密研磨PPT百度文库
1、弹性发射加工 EEM 加工时研具与工件不接触， 使微粒子冲击工件表面，并产生 弹性破坏物质的原子结合，以原 子级的加工单位去除工件材料， 从而获得无损伤的加工表面。 优点： 工件表层无塑性变形 原子级的精度 无缺陷的表面质量 缺点： 材料去除率极低本文针对EEM中的磨粒运动状态及材料去除函数分别进行了仿真分析和实验研究，为基于EEM技术的超光滑表面加工提供了理论依据及技术支持，主要做了以下几方面的工作：（1）搭建了具有压力反馈和在线调整功能的EEM系统实验台，利用实验台对K9玻璃进行 弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究 豆丁网
弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究 百度学术
摘要： 随着科学技术的发展,具有超光滑表面质量的光学元件已广泛应用于高精密产品和现代化国防等重要领域,超光滑表面加工技术是当今制造业的研究热点,直接影响机械产品的精度和表面质量,本文研究的弹性发射加工技术(Elastic emission machining,简称EEM)具有加工范围广,材料去除稳定,无亚表面损伤等 弹性发射数控抛光系统设计及搭建* 同济大学机械与能源工程学院 王昆 黄智星 本文根据弹性发射加工特点以及其精度要求，搭建 了一套用于弹性发射加工的装置，并对抛光过程中的抛 光正压力和抛光距离进行了分析，通过对石英玻璃进行 抛光实验验证了本 弹性发射数控抛光系统设计及搭建 百度文库
研磨(grinding)研磨技术的发展研磨加工技术仪器网 yiqi
(1)弹性发射加工 弹性发射加工(EEM)是利用微粒子在材料表面上滑动去除材料。微粒子以接近水平的角度与材料碰撞，在接近材料表面处产生最大剪断力，既不使其体内的位错、缺陷等发生移动 (塑性变形)，又能产生微量的“弹性破坏”，以进行去除加工 31弹性发射加工 弹性发射加工装置(Elastic Emissi on Machining，EEM )见图2。发明者Mori和Tsuwa1描述，它是一种新的“原子级尺寸加工方法”。EEM使用软(在微小压力下很容易发生变形)的聚亚胺酯球作为抛光工具(研磨工具)，同时控制旋转轴与加工工件的接触超精密研磨技术的现状及发展趋势百度文库
弹性发射光学制造技术研究进展
弹性发射加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒 的手段。本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特 第 14 卷 第 5 期 2021 年 9 月 文章编号 20951531（2021）05108915 中国光学 Chinese Optics 弹性发射光学制造技术研究进展 Vol 14 No 5弹性发射光学制造技术研究进展 百度文库
弹性发射加工eem设备
弹性发射加工eem 设备 广州市久锐化工科技有限公司 摘要在分析现有利用新原理的超精密研磨方法的基础上，提出了基于超声研磨的超精密加工方法，阐述了超声研磨的基本工作原理和特点，并进行了初步的对比试验研究。超精密加工技术在提高机电产品 这些新的研磨抛光方法可以达到 分子级和原子级材料的去除，并达到相应的极 高几何精度和无缺陷无变质层的加工表面。 7 sapphire 9 35 553 非接触研磨抛光技术 非接触研磨技术是以弹性发射加工（EEM)的理 论为基础的。第5章超精密研磨与抛光PPT课件百度文库
弹性发射加工材料去除的滚动模型分析,International Journal of
弹性发射加工（EEM）是获得超光滑表面的最有效技术之一。抛光轮将抛光颗粒供给到工件表面的特定位置，与工件发生化学反应，实现材料的无损去除。然而，抛光轮与浆料之间的相互作用以及原子去除机制仍不清楚。在这项研究中，在三维状态下考虑抛光轮和浆料之间的相互动态相互作用，并建立 主要有弹性发射加工（EEM）、浮动研磨、磁力研磨等。弹性发射加工是可以得到很高的加工精度和低表面粗糙度的超精密加工方法。EEM加工原理如图1所示。 在高速旋转的聚氨脂球与被加工工件表面之间加上含有微细磨料的工作液，并对聚氨脂球加上定的超声研磨的基本工作原理和特点 机床商务网
弹性发射加工
2021年2月22日 弹性发射 加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件 的手段。 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特弹性发射加工是可以得到很高的加工精度和低表面粗糙度的超精密加工方法。 EEM加工原理如图1所示。 在高速旋转的聚氨脂球与被加工工件表面之间加上含有微细磨料的工作液，并对聚氨脂球加上定的压力。基于超声研磨的超精密加工 学习园地 优胜UG模具培训
弹性发射加工
弹性发射加工(elastic emission machining,EEM)采用浸液工作方式，利用在工件表面高速旋转的聚氨酯小球带动抛光液中粒度为几十纳米的磨料，以尽可能小的人射角冲击工件表面，通过磨粒与工件之间的化学作用去除工件材料，工件表层无塑性变形1加工原理如图1所示,所谓弹性发射加工(简称EEM)是将聚氨基甲酸乙脂回转球与工件一起置于悬浊液(含微细粉末粒子) 中,利用回转球与工件表面之间产生的流体润滑现象,去除工件表面材料的方法 展开 关键词： 回转球 工件表面 悬浊液 微细粉末 数控 聚 数控弹性发射加工 百度学术
eem弹性发射抛光
正1加工原理如图1所示,所谓弹性发射加工简称EEM是将聚氨基甲酸乙脂回转球。 弹性发射加工的相关词 磁力研磨 超声研磨 超精密研磨 研磨抛光 抛光方法 。基于超声研磨的超精密加工 docin豆丁网 其中弹性发射加工 EEM 由于兼有研磨和抛光的特点而有其特点是加工精度高、 加工设备简单、 投资少, 但是加工精度不稳定、 加工成本高、 效率低。 3 几种纳米级研磨加工方法 3 1 弹性发射加工 3 3 在线修整固着磨料研磨方法 固着磨料高速研磨是先将散粒的磨粒固结起来制 成丸片, 再由丸片制成不同形状的磨具, 其构 造如图 4( a) , 图 4( b) 所示。超精密研磨技术的现状及发展趋势百度文库
超精密加工之气囊抛光百度文库
超精密加工之气囊抛光 f12促进超精密加工发展的因素 尽管随时代的变化， 超精密加工技术不断更新， 加工精度不断提高，各国之间的研究侧重点有所不 同，但促进超精密加工发展的因素在本质上是相同 的。 这些因素可归结如下。 对产品高质量的追求 超精密切削、磨削技术虽然加工效率高,但无法获得如CMP、EEM的加工精度。 探索能兼顾效率与精度的加工方法,成为超精密加工领域研究人员的目标。 半固着磨粒加工方法的出现即体现了这一趋势,另一方面表现为电解磁力研磨[16]、磁流变磨料流加工等复合加工方法的诞生。超精密加工及其发展趋势百度文库
弹性发射加工中的100 µm尺寸固定点加工,International Journal
近来，通过使用各种超精密加工方法，已经获得了具有纳米级图形精度和纳米级平滑度的光学器件。然而，仍然强烈需要提高图形中的空间分辨率，特别是当光学装置的形状复杂时。我们一直在开发使用弹性发射加工（EEM）的图形校正系统。在这项研究中，开发了一种EEM喷嘴头，该喷嘴具有一个直径 曲面，其加工精度为 043µm/Φ100mm，表面粗糙度 为 0004µm。前苏联研究开发的磁流体抛光和日本研 究开发的弹性发射加工（EEM，elastic emission machining）技术，大大提高了抛光工艺的技术水平。 在超精密加工基础理论研究方面，日本与美国学者，精密超精密加工技术在航天领域的应用与展望pdf 豆丁网
几种研磨加工新工艺深圳市海德精密机械有限公司
非接触研磨是以弹性发射加工(EEM)作为基础发展起来的一种加工方法。 相比较弹性发射加工,非接触研磨中,研磨盘与工件之间不会直接接触。被加工 工件浮在研磨液之上,研磨盘转动时,研磨液随之转动,研磨液中的悬浮磨粒对 工件表面进行冲击,产生研磨 弹性发射加工(elastic emission machining,EEM)采用浸液工作方式，利用在工件表面高速旋转的聚氨酯小球带动抛光液中粒度为几十纳米的磨料，以尽可能小的人射角冲击工件表面，通过磨粒与工件之间的化学作用去除工件材料，工件表层无塑性变形弹性发射加工
弹性发射光学制造技术研究进展
尤其对如何实现柱面，椭球面，超环面等复杂曲面的原子量级超光滑加工仍是国内外前沿研究方向。 弹性发射加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。 本文总结了弹性发射 弹性发射加工（EEM） EEM方法是利用微细粒子在材料表面上滑动时去除材料的加工。 微细粒子以接近水准的角度与材料碰撞，在接近材料表面处产生最大的剪断应力，既不使基体内的位错丶缺陷等发生移动（塑性变形），又能产生微量的“弹性破坏”，以进行去除加工。抛光加工介绍PART2游离磨粒方式刀具制造供应商碧威
李佳慧,侯溪,张云,王佳,钟显云 弹性发射光学制造技术研究
发射加工技术及装备的国内外研究现状并展望了 未来的可能发展方向。 2 弹性发射加工技术材料去除机理 弹性发射加工技术(Elastic Emission Machining，EEM)是由日本大阪大学的Mori等人在20 世纪70年代提出的一种原子量级的超光滑抛光 技术[17]。硅光刻技术、 LIGA技术和其它微细加工技术的生产设备、检测设备都是超精密加工的产品。 超精密加工技术的发展及分析 超精密加工技术是以高精度为目标的技术，它必须综合应用各种新技术，在各个方面精益求精的条件下，才有可能突破常规技术达不到的 超精密加工技术的发展及对策
先进制造技术超精密研磨PPT百度文库
1、弹性发射加工 EEM 加工时研具与工件不接触， 使微粒子冲击工件表面，并产生 弹性破坏物质的原子结合，以原 子级的加工单位去除工件材料， 从而获得无损伤的加工表面。 优点： 工件表层无塑性变形 原子级的精度 无缺陷的表面质量 缺点： 材料去除率极低本文针对EEM中的磨粒运动状态及材料去除函数分别进行了仿真分析和实验研究，为基于EEM技术的超光滑表面加工提供了理论依据及技术支持，主要做了以下几方面的工作：（1）搭建了具有压力反馈和在线调整功能的EEM系统实验台，利用实验台对K9玻璃进行 弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究 豆丁网
弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究 百度学术
摘要： 随着科学技术的发展,具有超光滑表面质量的光学元件已广泛应用于高精密产品和现代化国防等重要领域,超光滑表面加工技术是当今制造业的研究热点,直接影响机械产品的精度和表面质量,本文研究的弹性发射加工技术(Elastic emission machining,简称EEM)具有加工范围广,材料去除稳定,无亚表面损伤等 弹性发射数控抛光系统设计及搭建* 同济大学机械与能源工程学院 王昆 黄智星 本文根据弹性发射加工特点以及其精度要求，搭建 了一套用于弹性发射加工的装置，并对抛光过程中的抛 光正压力和抛光距离进行了分析，通过对石英玻璃进行 抛光实验验证了本 弹性发射数控抛光系统设计及搭建 百度文库
研磨(grinding)研磨技术的发展研磨加工技术仪器网 yiqi
(1)弹性发射加工 弹性发射加工(EEM)是利用微粒子在材料表面上滑动去除材料。微粒子以接近水平的角度与材料碰撞，在接近材料表面处产生最大剪断力，既不使其体内的位错、缺陷等发生移动 (塑性变形)，又能产生微量的“弹性破坏”，以进行去除加工 31弹性发射加工 弹性发射加工装置(Elastic Emissi on Machining，EEM )见图2。发明者Mori和Tsuwa1描述，它是一种新的“原子级尺寸加工方法”。EEM使用软(在微小压力下很容易发生变形)的聚亚胺酯球作为抛光工具(研磨工具)，同时控制旋转轴与加工工件的接触超精密研磨技术的现状及发展趋势百度文库
弹性发射光学制造技术研究进展
弹性发射加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒 的手段。本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特 第 14 卷 第 5 期 2021 年 9 月 文章编号 20951531（2021）05108915 中国光学 Chinese Optics 弹性发射光学制造技术研究进展 Vol 14 No 5弹性发射光学制造技术研究进展 百度文库
弹性发射加工eem设备
弹性发射加工eem设备 广州市久锐化工科技有限公司 摘要在分析现有利用新原理的超精密研磨方法的基础上，提出了基于超声研磨的超精密加工方法，阐述了超声研磨的基本工作原理和特点，并进行了初步的对比试验研究。这些新的研磨抛光方法可以达到 分子级和原子级材料的去除，并达到相应的极 高几何精度和无缺陷无变质层的加工表面。 7 sapphire 9 35 553 非接触研磨抛光技术 非接触研磨技术是以弹性发射加工（EEM)的理 论为基础的。第5章超精密研磨与抛光PPT课件百度文库